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二氟代氙 |
| CAS No.: |
13709-36-9 |
| 分子式： |
F2Xe |
| 分子量： |
169.29 |
| 备注： |
中文名称二氟代氙中文同义词二氟代氙,99.5%(METALSBASIS);二氟代氙;二氟化氙XEF2;二氟代氙二氟化氙;双氟氙英文名称XENONDIFLUORIDE英文同义词XENONDIFLUORIDE99%;XENONDIFLUORIDE,99.5+%;Difluoroxenon(II);Xenon(II)fluoride,99.5%;Xenon(II)fluoride,99+%;Xenondifluoride99.9%;xenonfluoride;XENON(II)DIFLUORIDECAS号13709-36-9分子式F2Xe分子量169.29EINECS号237-251-2相关类别化学品(Chemical);半导体制程材料;化工原料;氙同位素气体;metalhalide;ElectronicChemicals;FluoridesSyntheticReagents;Micro/Nanoelectronics;C-XBondFormation(Halogen);Fluorination;SyntheticReagentsMol文件13709-36-9.mol结构式二氟代氙性质熔点129°C(lit.)沸点114.35°C(estimate)密度4.32g/mLat25°C(lit.)蒸气压3.8mmHg(25°C)闪点None储存条件Storeat+2°Cto+8°C.溶解度可溶于乙腈（Chemicalbook少许）、DMSO（少许）形态晶体比重4.320颜色白色水溶解性Decomposesinwater.敏感性MoistureSensitiveMerck14,10072暴露限值ACGIH:TWA2.5mg/m3NIOSH:IDLH250mg/m3;TWA2.5mg/m3稳定性稳定的。与空气、湿气不相容。分解时释放氟。与可燃材料接触可能会引起火灾。（有时会在这种材料中发现痕量的四氟化氙。当暴露在潮湿环境中时，四氟化物可能会形成爆炸性的三氧化氙。）InChIKeyIGELFKKMDLGCJO-UHFFFAOYSA-NCAS数据库13709-36-9(CASDataBaseReference)EPA化学物质信息Xenonfluoride(XeF2)(13709-36-9)二氟代氙用途与合成方法理化性质二氟化氙（XeF2），又称二氟代氙，分子量为169.30，是一种无色固体，在室温下容易升华而形成透明晶体。二氟化氙在中性或碱性溶液中分解，在酸性溶液中较为稳定，水溶液有刺激气味。二氟化氙蒸汽是无色的，具有令人发呕的恶臭。在电子工业中，XeF2常被用作硅的蚀刻气体，由于XeF2和硅的化学反应是自发反应，XeF2对硅的腐蚀工艺具有非常高的选择性，在XeF2对硅进行腐蚀过程中，XeF2气体通过自由扩散到硅衬底表面，并与最外层硅原子发生化学反应生成气态Xe和气态SiF4，从而实现对硅的腐蚀。用途非常有效的氟化剂。 |
| 结构式： |
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