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1,2,3,4-四氯六氟丁烷
CAS No.:
375-45-1
分子式：
C4Cl4F6
分子量：
303.85
备注：
中文名称1,2,3,4-四氯六氟丁烷中文同义词1,2,3,4-四氯六氟丁烷;六氟-1,2,3,4-四氯丁烷英文名称1,2,3,4-Tetrachlorohexafluorobutane英文同义词1,2,3,4-TETRACHLOROHEXAFLUOROBUTANE;HEXAFLUORO-1,2,3,4-TETRACHLOROBUTANE;Hexafluoro-1,2,3,4-tetrachlorobutane97%;Hexafluoro-1,2,3,4-tetrachlorobutane97%;1,2,3,4-Tetrafluorohexafluorobutane;1,2,3,4-Tetrachloro-1,1,2,3,4,4-hexafluorobutane;Perfluoro-1,2,3,4-tetrachlorobutane,1,1,2,3,4,4-Hexafluoro-1,2,3,4-tetrachlorobutane;BChemicalbookutane,1,2,3,4-tetrachloro-1,1,2,3,4,4-hexafluoro-CAS号375-45-1分子式C4Cl4F6分子量303.85EINECS号938-148-1相关类别Mol文件375-45-1.mol结构式1,2,3,4-四氯六氟丁烷性质沸点134-135°C密度1.72[at20℃]形态液体颜色透明、无色InChIInChI=1S/C4Cl4F6/c5-1(9,3(7,11)12)2(6,10)4(8,13)14InChIKeyIRHYACQPDDXBCB-UHFFFAOYSA-NSMILESC(Cl)(F)(F)C(Cl)(F)C(Cl)(F)C(Cl)(F)F1,2,3,4-四氯六氟丁烷用途与合成方法用途1,2,3,4-四氯六氟丁烷是六氟-1,3-丁二烯的主要合成原料，而六氟-1,3-丁二烯作为半导体加工使用的蚀刻气体备受关注，其能够对100nm、甚至更窄的宽度进行蚀刻，并具有很高的精准性。
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