黎明化工研究设计院有限责任公司承担的国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备与成套工艺”的子项目“高纯四氟化碳和六氟化硫研发与中试”项目已部分实现产业化应用。

　　2013年1月，黎明院科研项目团队在现有氟化物工艺基础上，突破产物合成、精制提纯、杂物分析、洁净充装等关键技术，并投入300万余元建成标准化洁净间，为该公司含氟电子气体产品的推广搭建良好的展示平台。

　　2015年12月，黎明院完成高纯四氟化碳生产试验，试制出符合指标要求的产品并通过客户验证。今年3月份，黎明院高纯六氟化硫已实现工业化生产，产能由最初的年产50吨，逐步改扩建为年产1000吨，年产值5000万元以上，电子级四氟化碳产品也提交客户使用，市场反应良好。目前，该项目完成了5项专利申请，其中发明专利3项，使用新型专利2项。